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超純水( Ultrapure water )又稱 UP 水,是指電阻率達(dá)到 18 M Ω *cm ( 25 ℃)的水。這種水中除了水分子外,幾乎沒(méi)有什么雜質(zhì),更沒(méi)有細(xì)菌、病毒、含氯二噁英等有機(jī)物,當(dāng)然也沒(méi)有人體所需的礦物質(zhì)微量元素,也就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水。可以用于超純材料(半導(dǎo)體原件材料、納米精細(xì)陶瓷材料等)應(yīng)用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當(dāng)?shù)某R界精細(xì)技術(shù)的制備過(guò)程
超純水處理 : 既將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全去除,又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度的水。電阻率大于 18M Ω *cm ,或接近 18.3M Ω *cm 極限值 (25 ℃ ) 。
超純水處理,是一般工藝很難達(dá)到的程度,采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級(jí)處理四大步驟,多級(jí)過(guò)濾、高性能離子交換單元、超濾過(guò)濾器、紫外燈、除 TOC 裝置等多種處理方法,電阻率方可達(dá) 18.25M Ω *cm(25 ℃ ) 。
在半導(dǎo)體產(chǎn)品制造過(guò)程中,由于生產(chǎn)設(shè)備的精密性和生產(chǎn)工藝的復(fù)雜性,對(duì)其配套設(shè)施提出了很高的要求,尤其對(duì)作為半導(dǎo)體行業(yè)血脈 的超純水系統(tǒng)更是高之又高。半導(dǎo)體行業(yè)超純水制造工藝可以概述為 4 個(gè)部分,分別為預(yù)處理部分、 RO 部分、電去離子部分和拋光混床部分;在有些半導(dǎo)體廠中, 也有用“陰床 + 陽(yáng)床”代替電去離子裝置的,主要根據(jù)原水水質(zhì)和產(chǎn)水水質(zhì)對(duì)弱電解質(zhì)的要求而定。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
1. 避免傳統(tǒng)離子再生耗費(fèi)的大量酸堿,對(duì)環(huán)境更友好;
2. 克服傳統(tǒng)離子設(shè)備再生周期相對(duì)較長(zhǎng);
3. 超濾反洗排水、一級(jí) RO 濃水排水和 CEDI 濃水排水及其回收利用措施,利于節(jié)能減排;
4. 節(jié)約水資源及半導(dǎo)體制造單位的運(yùn)行成本。
產(chǎn)品應(yīng)用
預(yù)處理部分
1. 多介質(zhì)過(guò)濾器 + 活性炭過(guò)濾器 ;
2 . 粗過(guò)濾器 + 超濾裝置。
反滲透部分
反滲透膜
電去離子部分
EDI 模塊和 CEDI 模塊。
拋光混床
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