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微電子的空氣過濾器

日期:2018/4/14瀏覽:927次

沾粘在集成電路上的粉塵會造成斷路、短路,粉塵直接影響產(chǎn)品的成品率。如今,半導(dǎo)體工業(yè)(芯片生產(chǎn)車間)對生產(chǎn)環(huán)境的空氣清潔程度把控是非常嚴(yán)格的,對空氣過濾器的要求也十分嚴(yán)格。芯片生產(chǎn)車間傳統(tǒng)的通風(fēng)形式是“大循環(huán)、大流量”,車間的整個(gè)頂棚上布滿高效過濾器,整個(gè)地面為回風(fēng)柵板?,F(xiàn)在芯片生產(chǎn)有些車間使用自帶風(fēng)機(jī)的過濾裝置,即FFU。大循環(huán)和FFU兩種形式都能達(dá)到足夠的潔凈度,只是在運(yùn)行管理和能耗上有所差異,不論是高效過濾器還是FFU,出廠前都要經(jīng)過逐臺掃描測試。 

 

當(dāng)芯片上的線寬小到0.5μm時(shí),上海奕卿科技公司發(fā)現(xiàn)空氣中的化學(xué)污染物成了影響成品率的主要危害因素;化學(xué)污染物的來源有可能是室外空氣、工藝本身、人或裝修材料等;上海奕卿過濾科技有限公司生產(chǎn)的精密濾芯過濾器的過濾技術(shù)可以將潔凈室的粉塵濃度降到近乎為零,你想要多干凈都能達(dá)到。

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