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微電子的空氣過濾器

日期：2018/4/14瀏覽：927次

沾粘在集成電路上的粉塵會造成斷路、短路，粉塵直接影響產(chǎn)品的成品率。如今，半導(dǎo)體工業(yè)（芯片生產(chǎn)車間）對生產(chǎn)環(huán)境的空氣清潔程度把控是非常嚴(yán)格的，對空氣過濾器的要求也十分嚴(yán)格。芯片生產(chǎn)車間傳統(tǒng)的通風(fēng)形式是“大循環(huán)、大流量”，車間的整個(gè)頂棚上布滿高效過濾器，整個(gè)地面為回風(fēng)柵板?，F(xiàn)在芯片生產(chǎn)有些車間使用自帶風(fēng)機(jī)的過濾裝置，即FFU。大循環(huán)和FFU兩種形式都能達(dá)到足夠的潔凈度，只是在運(yùn)行管理和能耗上有所差異，不論是高效過濾器還是FFU,出廠前都要經(jīng)過逐臺掃描測試。 

 

當(dāng)芯片上的線寬小到0.5μm時(shí)，上海奕卿科技公司發(fā)現(xiàn)空氣中的化學(xué)污染物成了影響成品率的主要危害因素；化學(xué)污染物的來源有可能是室外空氣、工藝本身、人或裝修材料等；上海奕卿過濾科技有限公司生產(chǎn)的精密濾芯過濾器的過濾技術(shù)可以將潔凈室的粉塵濃度降到近乎為零，你想要多干凈都能達(dá)到。

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