簡(jiǎn)介：

多晶硅 ( 多晶硅，是單質(zhì)硅的一種形態(tài)。熔融的單質(zhì)硅在過冷條件下凝固時(shí)，硅原子以金剛石晶格形態(tài)排列成許多晶核，如這些晶核長(zhǎng)成晶面取向不同的晶粒，則這些晶粒結(jié)合起來，就結(jié)晶成多晶硅。 ) 在太陽能利用上，單晶硅和多晶硅也發(fā)揮著巨大的作用。要使 太陽能發(fā)電具有較大的市場(chǎng)，被廣大的消費(fèi)者接受，就必須提高太陽電池的光電轉(zhuǎn)換效率，降低生產(chǎn)成本。從國際太陽電池的發(fā)展過程可以看出其發(fā)展趨勢(shì)為單晶硅、多晶硅、帶狀硅、薄膜材料（包括微晶硅基薄膜、化合物基薄膜及染料薄膜）。 不論是 改良西門子法還是硅烷法生產(chǎn)工藝中 都需要過濾設(shè)備 ，用于 收集 硅粉、氯硅烷循環(huán)洗滌、循環(huán)水再利用等工序。結(jié)合 眾多 項(xiàng)目 生產(chǎn) 經(jīng)驗(yàn)， 上海奕卿過濾科技有限公司 提出了自己的過濾工藝解決方案。

多晶硅 ( 生產(chǎn)中所遇見的 污染物及雜質(zhì) 顆粒 ：

1. 未完全反應(yīng)的硅粉顆粒 ；   2. 循環(huán)液帶入的管道中的雜質(zhì) ；   3. 進(jìn)料帶入的固體粉塵與雜質(zhì) ；   4. 合成反應(yīng)生成的固體雜質(zhì) ；

 

這些顆粒 雜質(zhì)污染物 是影響生產(chǎn)穩(wěn)定、換熱效率的 主要 原因。 上海奕卿過濾科技 高效的過濾與分離 設(shè)備 不僅保護(hù)了生產(chǎn)設(shè)備的工藝安全，同時(shí)也提升了產(chǎn)品 質(zhì)量與 產(chǎn)量。

 

尾氣過濾應(yīng)用在多晶硅生產(chǎn)的各個(gè)工藝段 , 對(duì)多晶硅的生產(chǎn)起到重要作用 , 尤其目前行業(yè)低位運(yùn)行期間 , 對(duì)多晶硅產(chǎn)品降低成本至關(guān)重要 ：

a. 廢氣廢液工位的煙氣過濾 ；   b. 還原爐尾氣分離 ；   c. 氫化爐尾氣分離 ；   d. 硅粉過濾等。

 

1 、 還原尾氣分離

在 SiCl4 氫化氣和 SiHCl3 還原氣通過干法分離后， H2 和 HCl 得以回收利用，在 H2 回用前需過濾氣體中含有的未反應(yīng)硅粉和生成的石墨粉， 來 保證氫氣純凈，使氫化反應(yīng)和還原反應(yīng)更穩(wěn)定、高效。

問題：	要求：	解決：
氫氣為高危氣體	過濾器密封性能良好	采用自動(dòng)反吹系統(tǒng)，無須打開濾器，減少內(nèi)件更換頻次，避免泄露可能
石墨粉 / 硅粉顆粒粒徑微小，硬度高。	過濾精度要求高，防止內(nèi)件穿透。	采用獨(dú)特的燒結(jié)金屬氈內(nèi)件，過濾孔徑穩(wěn)定，保證過濾性能 , 過濾精度可達(dá) 0.1um-0.5um
尾氣溫度高	抗溫要求高。避免降溫處理帶來的一系列問題。	奕卿 采用高溫直接處理工藝，避免降溫處理帶來管道腐蝕，能耗浪費(fèi)嚴(yán)重的問題。

 

2 、廢氣、廢液焚燒處理

在多晶硅生產(chǎn)工藝中，廢氣廢液處理一直是困擾企業(yè)的難題之一。傳統(tǒng)的噴淋處理工藝，處理成本高，浪費(fèi)嚴(yán)重，環(huán)保問題嚴(yán)峻。

解決方案：

上海奕卿科技 采用干法分離技術(shù)，將廢氣廢液在爐內(nèi)燃燒，生成 SiO2 粉末，通過分離收集 SiO2 粉末產(chǎn)生極大的經(jīng)濟(jì)效益。同時(shí)解決環(huán)保達(dá)標(biāo)排放問題 。

工藝優(yōu)勢(shì)：

1 、 廢氣廢液集中處理，工藝流程短，操作簡(jiǎn)單 ；   2 、 回收的 SiO2 粉末產(chǎn)生極大的經(jīng)濟(jì)效益 ；   3 、 氣體經(jīng)燃燒后，符合環(huán)保要求，可直接放空處理，經(jīng)濟(jì)環(huán)保。