在生產(chǎn)制造半導(dǎo)體前，必須將硅轉(zhuǎn)換為晶圓片（未切割的單晶硅材料是一種薄型圓片叫晶圓片 , 是半導(dǎo)體行業(yè)的原材料，切割后叫硅片，通過對(duì)硅片進(jìn)行光刻、離子注入等手段，可以制成各種半導(dǎo)體器件）。

晶圓生產(chǎn)包括：晶棒成長、晶棒裁切與檢測(cè)、外徑研磨、切片、圓邊、表層研磨、蝕刻、去疵、拋光、清洗及檢驗(yàn)包裝工序；研磨過程之后需采用大量的超純水來洗凈晶圓表面所殘留的懸浮微顆?；蚪饘匐x子污染物，因而產(chǎn)生 CMP 研磨廢液及后段清洗廢水。 CMP ：化學(xué)機(jī)械拋光是半導(dǎo)體工藝的一個(gè)步驟，該技術(shù)于 90 年代前期開始被引入半導(dǎo)體硅晶片工序，從氧化膜等層間絕緣膜開始，推廣到聚合硅電極、導(dǎo)通用的鎢插塞（ W-Plug ）、 STI （元件分離），而在與器件的高性能化同時(shí)引進(jìn)的銅布線工藝技術(shù)方面，現(xiàn)在已經(jīng)成為關(guān)鍵技術(shù)之一。雖然目前有多種平坦化技術(shù)，同時(shí)很多更為先進(jìn)的平坦化技術(shù)也在研究當(dāng)中嶄露頭角，但是化學(xué)機(jī)械拋光已經(jīng)被證明在目前唯有此技術(shù)能實(shí)現(xiàn)全局平坦化。

在此產(chǎn)生過程中的問題有： 1 、廢水處理不當(dāng)或直接排放會(huì)污染環(huán)境； 2 、處理過的水不加以回收造成水資源浪費(fèi)嚴(yán)重； 3 傳統(tǒng)的處理方式有局限性（占地大，加藥多，污泥產(chǎn)生量多，水質(zhì)不穩(wěn)定）等問題。

上海奕卿過濾科技有限公司生產(chǎn)的過濾設(shè)備應(yīng)用：

生產(chǎn)中上層清液溢流至中間水箱，經(jīng)中間水泵將清水加壓后進(jìn)一步過濾，經(jīng)過上海奕卿過濾科技有限公司生產(chǎn)的 10 微米不銹鋼袋式過濾器、 1 微米的精密濾芯過濾器、活性炭吸附裝置及終端 0.2 微米的精密過濾器過濾之后進(jìn)入終端水箱，經(jīng)終端送水泵將系統(tǒng)完全處理的回用水送至超濾產(chǎn)水箱，可直接進(jìn)反滲透裝置以繼續(xù)生產(chǎn)超純水。

技術(shù)支持：

如何選擇過濾設(shè)備 —工況調(diào)查表

常見流體的粘度；

常見顆粒物的大小及設(shè)備選型參考；

常見流體化學(xué)適應(yīng)性表；

選擇過濾精度時(shí)微米和目數(shù)的關(guān)系；

常見管道尺寸對(duì)照表；

如何挑選合適的過濾袋 - 過濾芯 ；

過濾機(jī)理和形式 ；

過濾行業(yè)中的常用術(shù)語 ；

過濾行業(yè)常見的單位換算 ；

過濾的種類及模式 ；

過濾行業(yè)中的一些名詞定義 ；

常見顆粒物粒徑大小 ；

常用壓濾機(jī)濾布分類 ；

過濾機(jī)理 ；

幾種過濾方法能耗分析 ；

幾種金屬顆粒和化合物粒徑分布 ；

顆粒尺寸和對(duì)應(yīng)的過濾分離方式 ;